在一般的电温空仪器中，通常都希望气压降得很低，以使残余气体分子的平均自内路程远大于容器（真空器皿或真空容器)的直径，而不致因自由电子与气体分子大量碰撞而发生不应有的电离作用，因此—般的气压锥待在10-5--10-8毛比较适当(这时气体分子的平均自由路程的等于7--7000米)。但是在封闭系统中(如封闭中的电子
管)，能达到的最低气压不仅决定于真空泵的极限真空，同时在很大的程度上还决定于内部材料的性质和状况。无数的实验表明，在低气压时固态的电真空材料(如金
届、玻璃、云母)即使经过严密的化学清洗、还往往有大量的原来被吸附或吸收的气体陆续释放或扩散出来，破坏应有的真空。这种现象在管内有高温灯丝（如金属灯的钨丝）或电子作用（如电离管）时更为明显。为了保证封闭后长期使用的过程中，真空度维持在容许的限度以内，就必经当电真空器件在真空系统上排气，封闭以前设法逐出大部分固体材料吸收或吸附的气体，这种手法被就称为‘除气”。
  除气的方法，翘常是在连续抽气时把材料加热到一个尽可能高的温度。因为“当固体处于高温状态时，范德华尔吸附作用迅速下降。虽然当时吸收作用似将增长，但吸收之所以能形成是由于气体在固体表面向内部扩散的结果、所以吸附应发生在扩散(吸收)之前。因为温度升高吸附减少，扩散也就减少，一般的情况下温度改变对吸附的影响大大强于对扩散的影响，这样实质上吸收就随着温度的升高而降低。
在固体和真空交界处的气体分子平衡状态逐步建立的过程中，就出现除气现象，而在一定的温度维持一定的时间之后、固体表面将不因空间气体分子的撞击或内部气体的逐步扩散而释出气体，这样就达到了预期的目的。除气的效率自然正比于固体的温度、因此原则上越高越好，但是在大多数情况下还要考虑到固体在高温时的蒸发，这就必须在不同材料和不同条件下选择适当的温度和加热时间(即所谓的“除气标准”)才能得到最好的效果。