(1)真空
凡是低于大气压的气体所存在的空间状态，称之为真空
低真空   100，000—I00Pa
中真空 100一0。1Pa
高真空 0。1—10-5Pa
超高真空 低于10-5Pa
完全没有气体的空间状态称为绝对真空。
(2)真空度
真空度是表示真空程度的习惯用语，它不用量度单位表示。最好也不要采用“好”“坏”或”“高”、“低”这种词汇来表示，因为这些词汇不能确切地表达真空度的概念，
3）帕斯卡( Pa sca l)
帕斯卡是用米•千克•秒制定义的压强单位，以Pa表示。
(4)毫巴
毫巴是用厘米•克•秒制定义的压强单位。以mba r表示*
(5)托)
托也是压强单位，以1标准大气压的1/760表示。单位符号Torr
(6) 分压强
在混合气体中、某单一气体听具有的压强称为分压强。
(7) 总压强
总压强表示混合气体中全部气体分压强的总和。
(8)朗缪尔
朗缪尔系真空中可控气体漏出量的单位。单位待号为3
(9)平均自由程
平均自由程，系指粒子(分子、电子、离子、中子)和同类粒子或异类粒子两次碰撞时所飞越的平均距离。
(10)流量或抽气量
单位时间内流k过真空泵或管道中某截面的气体量、称为流量或抽气量。在真空技术中该量用某截面上的压强乘以单位时间内流过的气体体积来表示．有时简称为Q值。符号为Q。单位为P a。m3／s，Tor r，l／s等。